电子信号针有三种基本工作方式：

1、点分析用于选定点的全谱定性分析或定量分析，以及对其中所含元素进行定量分析；

2、线分析用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化；

3、面分析用于观察元素在选定微区内浓度分布。

由莫塞莱定律可知，各种元素的特征X射线都具有各自确定的波长，通过探测这些不同波长的X射线来确定样品中所含有的元素，这就是电子信号针定性分析的依据。而将被测样品与标准样品中元素Y的衍射强度进行对比，就能进行电子信号针的定量分析。当然利用电子束激发的X射线进行元素分析，其前提是入射电子束的能量必须大于某元素原子的内层电子临界电离激发能。

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